| Source DB | fr |
|---|---|
| Institution | ULiège |
| Code | 26_11009 |
| Unit | ULiège_u001 |
| Begin | 10/1/2018 |
| End | 9/30/2020 |
| title fr | Structures opto-mécatroniques en verre (FEMTOprint) |
| title nl | |
| title en | Glass-Based Optomicromechatronics (FEMTOprint) |
| Description fr | Ce projet combine deux ingrédients qui permettront le développement de nouveaux résonateurs pour les capteurs inertiels et de matrices de capteurs instrumentés par des fonctions photoniques directement embarquées, pour la mesure de forces/déformations ainsi quecelle de marqueurs biochimiques. Le premier ingrédient est lié aux propriétés exceptionnelles du verre, parmi lesquelles un très faible amortissement interne (pour les résonateurs), peu de dilatation thermique (pour la mécanique de précision), un fini de surface de qualité optique, des propriétés optiques permettant la mesure de déformation par photo-élasticité ou réseau de Bragg, et enfind'excellentes propriétés mécaniques permettant la mise au point de capteurs de force combinant résolution et plage de mesure (module de Young et limite élastique). Malgré cela, la fabrication de structures en verre sous le millimètre a longtemps été hors de portée. Grâce à la machine FEMTOprint demandée dans cette proposition, de nouvelles structures en verre pourront être fabriquées avecune résolution meilleure que le micron, intégrant des fonctions fluidiques, optiques et mécaniques dans des structures monolithiques. Cette technique FEMTOprint repose sur une écriture directe de verre par laser femto-seconde, suivie d'une étape de gravure chimique. Les applications potentielles couvrent les champs de la mécanique de précision, la microfluidique, le micromoulage, la micro-optique (lentilles, éléments diffractifs, réseaux, guides d'ondes intégrés dans les structures mécaniques). Cet équipement viendraitrenforcer notre plate-forme institutionnelle micromilli.ulb.be et complèterait ainsi la machine Nanoscribe Photonic GT déjà disponible pour la structuration de résines à micro-échelle. |
| Description nl | |
| Description en | This proposal combines two key ingredients towards the development of resonators for inertial sensors and sensor arrays with embedded photonics for force/strain and biochemical sensing. The first key is related to the outstanding properties of glass, among which low loss factor (excellent for resonators), low thermal expansion (excellent for precision mechanics), optical quality surface finish, optical properties excellent to measure deformation of flexures by photo-elasticity or Bragg gratings, high elastic limit to Young modulus ratio (very good for large range and high resolution force sensors). However shaping glass at the small scale (<1mm)is very challenging. This will be solved thanks to the second key, which is the FEMTOprint machine. This new equipment allows 3D printed micro-devices out of glass and other transparent materials with sub-micron resolution, enabling the integration of fluidic, optical and mechanical functionalities in single monoliths at nano- and micro-scale. The technique is based on a 2 steps process: direct laser writing, followed by a chemical wet etching. Typical applications include precision mechanics (flexure hinges, microfluidics, micromolding, and micro-optics (microlenses, diffractive optical elements, nanogratings, waveguide and lab-on-fiber, integrated optical monitoring and sensing, the latter one is our target). This equipment would enrich our experimental platform micromilli.ulb.be and complement the Nanoscribe Photonic GT platform avaible for micron scale structuration of polymeric structures. |
| Qualifiers | |
| Personal | |
| Collaborations |
